Halar ECTFE是一种极其纯净的聚合物。在超纯水和高纯度化学品中的静态浸泡测试显示，金属和有机可萃取物的含量极低。额外的动态冲洗数据验证了Halar ECTFE适用于半导体、生物技术和制药行业的高纯度系统。此外，Halar ECTFE表现出非常低的氟离子浸出。

因此，Halar ECTFE被用作半导体行业超纯水系统的衬里和涂层。FM 4922认可的排气管系统使用Halar ECTFE涂层不锈钢。

索尔维Halar 500 LC 半导体管道系统应用

Halar ECTFE纯度、表面光滑度、耐化学性和耐火性是管道系统涂层和湿式工具结构半导体市场的关键特性。

Halar ECTFE在以下方面取得了 的成果半导体环境。我们的Halar粉末用作排气管、容器和工艺设备的涂层材料。Halar ECTFE粉末涂料已成功用于必须符合FM4922消防安全标准的排气管道系统的消防安全和防腐。Halar ECTFE涂层管道系统提供了出色的表面光滑度，降低了污染累积和腐蚀的风险。

近年来，开发了新的Halar ECTFE粉末涂料等级，为客户提供额外的好处:这些产品中包括无底漆Halar ECTFE涂料。

对于半导体湿法工艺设备，Halar ECTFE满足最苛刻的洁净室设备应用的需求:

• 不污染晶片(例如，通过溶解在蚀刻剂中)
• 总拥有成本低于频繁更换不太耐用的材料
• 在工具的整个使用寿命中，能够全面承受各种蚀刻化学物质
• 符合FM 4910消防安全标准，满足耐燃性、无火焰传播和低烟产生的要求

为什么选择Halar ECTFE

出色的耐化学性、渗透性和耐火性 低透水性 优异的耐候性 高纯度和表面光滑度 优异的脱模性能 良好的耐磨性

Halar ECTFE广泛用于防腐应用，如涂层或自支撑结构(管道)和建筑薄膜。其优异的耐火性和耐化学性使其成为电线电缆、通信电缆和特种电缆应用的 产品。 其纯度、表面光滑度、耐化学性和耐火性是半导体和光伏市场的关键特征